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高精度電動平移臺系列
高精度電動三維臺
HE-TS14(50XYZ)高精度電動平移臺XYZ三軸位移臺
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產品特性:(表格里精度描述欄為電性能參數)
※進口精密滾珠螺桿驅動,重復定位精度和定位精度好,軸向間隙小,壽命長
※導軌采用精密線性滑塊導軌(方形,整體與底板連接),運動舒適,適合單軸重載或多軸組合使用
※精磨電移臺底板和合理的導軌固定方式的降低了電移臺的俯仰和偏擺,使運動的直線度和平行度有較大提高
※可選配換裝伺服電機,光柵尺做閉環控制,實現高速重載
產品參數:
| 產品型號 | HE-TS14 (50XYZ) | HE-TS14 (100XYZ) | HE-TS14 (150XYZ) | HE-TS14 (200XYZ) | HE-TS14 (300XYZ) | HE-TS14 (400XYZ) | HE-TS14 (500XYZ) | |
| 結構參數 | 行程 | 50mm | 100mm | 150mm | 200mm | 300mm | 400mm | 500mm |
| 臺面尺寸 | 120×120mm | |||||||
| 螺桿規袼 | 精密滾珠螺桿(導程4mm) | 滾珠螺桿(導程5mm) | ||||||
| 導軌 | 精密線性滑塊導軌 | |||||||
| 步進電機(步距角) | 42(1.8°) | 57(1.8°) | ||||||
| 主體材料 | 鋁合金 | |||||||
| 表面處理 | 陽極氧化發黑 | |||||||
| 臺面中心負載 | 30kg | 50kg | ||||||
| 平臺自重 | 2.8kg | 3.4kg | 4.5kg | 5.2kg | 6.3kg | 7.2kg | 8.3kg | |
| 精度參數 | 8細分分辦率 | 2.5μm | 3.125μm | |||||
| 速度 | 20mm/sec | 40mm/sec | 50mm/sec | |||||
| 重復定位精度 | 5μm | |||||||
| 定位精度(選配光柵參數) | 8μm | |||||||
| 直線度 | 5μm | 6μm | 8μm | |||||
| 運動平行度 | 10μm | 15μm | 20μm | |||||
| 俯仰 | 25" | 50" | 60" | |||||
| 偏擺 | 20" | 25" | 30" | |||||
| 回程間隙 | 2μm | |||||||
| 丟步運動 | 3μm | 5μm | ||||||
| 附件描述 | 可加裝失電制動功能(Z) | |||||||
| 可加裝光柵尺(G) | ||||||||
| 可換裝伺服電機(D) | ||||||||
| 可加裝防塵罩(F) | ||||||||
產品尺寸:







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